离子强化的化学刻蚀

离子强化的化学刻蚀是一种将化学刻蚀和离子轰击相结合的微纳加工技术。该技术的特点在于使用离子束轰击样品表面，使表面处于一种特殊状态下，从而提高化学反应的效率和表面反应的选择性。在 IECE 过程中，离子轰击对待刻蚀表面进行去除和净化，同时改变表面的化学反应速率，提高化学反应速率和选择性。