干法刻蚀的样品准备

样品在干法刻蚀前需要用水，而非 IPA（会留下薄膜），进行清洁。

如果选择性高，灰化可能是必要的一个步骤（不适合HSQ 光刻胶，因为氧等离子体不会与 HSQ 反应）。