场发射阴极

场发射阴极又称为冷阴极。

冷阴极是将钨丝或六硼化镧做成极细的尖端，尖端直径通常在 0.5μm 以下。尖端很细，即使在很低的外加电压也可以在尖端部分形成很高的电场，其电场强度通常可达到 108V/m［11。这个高电场可以将电子直接从阴极表面拉出，形成发射，故名为场发射阴极。由于冷阴极的发射面积非常小，不需要阴极透镜会聚，它的虚源在实际阴极的后方，正好与热阴极相反。热阴极与冷阴极的虚源位置比较如图 3.6 所示。冷阴极的虚源一般只有几纳米，以此虚源作为物被后面的电子光学系统成像可以达到非常高的分辨率。