AFM 使用悬臂执行表面传感 悬臂的尖端靠近样品表面时，通过在表面和尖端之间形成吸引力来扫描样品表面 当悬臂非常接近样品表面时，排斥力逐渐控制使悬臂远离表面，并产生光束和激光束的反射，检测偏移方向的变化 使用正敏光电二极管 (PSPD) 监测光束的偏转方向 AFM通过在感兴趣的部分上扫描悬臂，强制拍摄样品的表面形貌图像 根据样品表面高低的不同，PSPD监控光束的偏转 显微镜有一个反馈回路，可以控制样品表面上方悬臂尖端的长度 此回路能够保持激光位置，从而生成表面的精确成像图