一种高效的颗粒物过滤器，它的作用是过滤空气中的颗粒物，包括细菌、病毒、真菌、尘埃等，过滤效率高达99.97%以上，可用于净化实验室、工厂、医院等空气环境。在微纳加工中，HEPA 过滤器常常用于洁净室中的空气净化。