温度对于微纳制造非常重要。 例如在电子束光刻柱房间中，温度控制的要求为22摄氏度加减0.1摄氏度。 温度的变化可能会导致基板（substrates）的热膨胀（thermal expansion）可能会超过正在制造的结构的尺寸