微观负载效应

概念

所谓微观负载效应，是指在同一设计图案内图形密度的不同导致刻蚀速率的不同。在图形密集的区域反应离子的有限成分消耗得快，造成供给失衡，刻蚀速率下降。效果是图形密集区域刻蚀深度小于图形稀疏区域，造成样品整体刻蚀深度的不均匀分布。

附录

笔记来源