干法刻蚀对比湿法腐蚀

	干法刻蚀	湿法腐蚀
	高选择性	容易启动和停止
	对衬底没有伤害	对于温度的变化不敏感
	更便宜	更易重复
		可能具有各向异性
		在环境中粒子更少