进行清洗是为了在喷涂抗蚀涂层之前去除表面的典型污染物，包括：晶圆划片产生的灰尘、大气产生的灰尘、颗粒、湿巾产生的毛屑、之前加工产生的光刻胶残留，这些物质的存在都会影响光刻的过程以及图案的质量。
标准清洗程序
- 5 分钟丙酮浸泡同时超声波搅拌
- 5 分钟甲醇浸泡同时超声波搅拌
- 5 分钟异丙醇浸泡同时超声波搅拌
- 用去离子水冲洗 30 秒
进行清洗是为了在喷涂抗蚀涂层之前去除表面的典型污染物，包括：晶圆划片产生的灰尘、大气产生的灰尘、颗粒、湿巾产生的毛屑、之前加工产生的光刻胶残留，这些物质的存在都会影响光刻的过程以及图案的质量。