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对准
对准
2025年2月22日
1分钟阅读
在现有图案的基础上,印刷一种新的光刻图案,用于对准。存在
对准误差
,但是有一定的容忍度。
两个对准标记距越远,旋转对准误差越小
对准方式
关系图谱
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光刻的工艺过程.excalidraw