坚膜

将光刻胶中所有的溶剂都蒸发掉，使得光刻胶完成聚合化和剥离化。可以提高光刻胶抵抗刻蚀和注入这两种工艺的能力。

在坚膜过程中，光刻胶也可以填满内部的针孔。

坚膜的温度会高于软烤的温度。