Modulation Transfer Function

• For line and spaces pattern (diffraction grating) on lithography masks, rather than a single aperture, the Fraunhofer diffraction image has minimum and maximum. 对于光刻掩模上的线和间隙图样（衍射光栅），与单一光圈不同，夫琅禾费衍射图像具有最小值和最大值。（产生的图案是波动的）
• Modulation Transfer Function的定义为：

![[Pasted image 20250218161515.png#pic_center|]]

• 一般来说需要大于0.5（光刻胶的CMTF）来让光刻胶展现出特征