Q1
a
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整个反应器的工作原理很简单，其利用了电子和离子具有不同迁移率的特点，电子迁移率高，对电场的变化敏感。在 RF 的正半周期，电子迅速在阴极积累，形成负电荷中心；在 RF 的负半周期，离子开始缓慢向阴极移动。每个射频周期后，电极表面都有净负电荷积累，由此形成稳态自偏压。
-
不会
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整个反应器的工作原理很简单，其利用了电子和离子具有不同迁移率的特点，电子迁移率高，对电场的变化敏感。在 RF 的正半周期，电子迅速在阴极积累，形成负电荷中心；在 RF 的负半周期，离子开始缓慢向阴极移动。每个射频周期后，电极表面都有净负电荷积累，由此形成稳态自偏压。
不会