高次谐波生成

将高能传统激光聚焦于气体（如氙、氩），气体原子在强电场作用下电离并振荡，产生原始激光频率的高次谐波（即波长极短的光）。

其优点在于能通过非线性光学效应，将长波长激光转换为极短波长EUV光。